Plasma (2) 썸네일형 리스트형 Plasmas Plasmas (플라즈마) 플라즈마는 1) free charged particles (자유로운 대전 입자) 들로 구성하고 있다. 2) electrically neutral (전기적 중성)이다. 여기서는 weakly ionized plasma discharges (약하게 이온화된 플라즈마 방전) 를 다룬다. 특징은 1) electrically driven (전기적으로 작동된다) 2) charged particle (대전 입자) 과 neutral gas molecule (중성 기체 분자) 간의 충돌은 중요하다 3) surface loss (표면의 상실) 가 일어나는 경계가 중요하다. 4) ionization of neutrals (중성 분자의 이온화) 이 plasma (플라즈마) 의 steady state .. Plasma etch process (플라즈마 식각 공정) 플라즈마에 대해 공부할 필요가 생겼다... 그래서 추천 받은 책은 바로 UC Berekely 교수님들이 쓴 "Principles of Plasma Discharges and Materials Processing" 공부해보자.. 첫번째 주제는 반도체에 공정중 하나인 플라즈마 식각 공정 플라즈마 식각 공정 순서: 1. Deposition: Substrate (기판)에 Film을 deposition (증착) 합니다: Film은 metal 이나 dielectric material이 되는 듯함. 2. PR Deposition: Film 위에 photoresist (PR: 감광제)를 증착. 3. Light exposure: Pattern위에 빛을 노출 시킴. 4. Development: Pattern이 없는 PR부.. 이전 1 다음
