etch (1) 썸네일형 리스트형 Plasma etch process (플라즈마 식각 공정) 플라즈마에 대해 공부할 필요가 생겼다... 그래서 추천 받은 책은 바로 UC Berekely 교수님들이 쓴 "Principles of Plasma Discharges and Materials Processing" 공부해보자.. 첫번째 주제는 반도체에 공정중 하나인 플라즈마 식각 공정 플라즈마 식각 공정 순서: 1. Deposition: Substrate (기판)에 Film을 deposition (증착) 합니다: Film은 metal 이나 dielectric material이 되는 듯함. 2. PR Deposition: Film 위에 photoresist (PR: 감광제)를 증착. 3. Light exposure: Pattern위에 빛을 노출 시킴. 4. Development: Pattern이 없는 PR부.. 이전 1 다음
